TCP 9400、9600
TCP系列設備是Lam基于ICP的單腔體型刻蝕設備，刻蝕線寬≥0.3微米；
主要用于8英寸及以下晶圓的氧化硅、氮化硅、多晶硅、硅及金屬材料的刻蝕。
分享
描述
產品特點
1.可選配Envision操作系統，提供更便捷的操作，更強的數據記錄及數據通信。
2.可升級傳送及腔體套件，匹配透明片、薄片的傳送及配套工藝。
3.可定制靜電吸附，滿足超薄晶圓刻蝕。
4.可定制8路MFC，兼容多種研發用刻蝕工藝。
5.提供多種新工藝開發及解決方案。
